Xem mẫu
- Phún xạ (tiếp)
Hệ thống phóng điện cải tiến cho phún xạ
Các thông số công nghệ
thường dùng:
Chân không: 10-7 torr
Áp suất hơi Ar: 1 – 5 mtorr
Điện áp: 500 – 1000 V
(một chiều hay xoay chiều
tần số radio)
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 11
11
- Phún xạ (tiếp)
Phún xạ hóa học
Trong quá trình phún xạ, một hay nhiều thành phần của vật liệu
màng mỏng phún xạ tồn tại dưới dạng các ion/tổ hợp mang điện và
được vận chuyển bởi điện trường. Tại không gian gần/tại bề mặt đế,
đư
các thành phần đó tham gia phản ứng hóa học với các thành phần
khác sẵn có hay cũng được vận chuyển tới để tạo thành vật liệu cuối
kh
cùng và lắng đọng trên bề mặt đế.
Cần để ý tới hiện tượng ăn mòn (rỉ) do môi trường khí.
ng (r
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 12
12
- Phún xạ (tiếp)
Phún xạ một chiều (DC) và xoay chiều tần số radio (RF)
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 13
13
- Phún xạ (tiếp)
Phún xạ dùng súng magnetron
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 14
14
- Phún xạ (tiếp)
Súng magnetron thương mại
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 15
15
- Phún xạ (tiếp)
Magnetron công nghiệp dạng tròn (trái) và phẳng (phải)
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 16
16
- Phún xạ (tiếp)
Chuyển động của các điện tử trong súng magnetron
ng
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 17
17
- Phún xạ (tiếp)
Đường sức từ trường
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 18
18
- Phún xạ (tiếp)
Cơ chế của sự rỉ (ăn mòn) bia
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 19
19
- Phún xạ (tiếp)
Cải thiện việc sử
dụng bia
Đại học Bách khoa Hà Nội
Bá Hà
2/2/2006 20
20
nguon tai.lieu . vn
