Xem mẫu
GVHD: TS Lê Vũ Tuấn Hùng HV: Trịnh Thị Quỳnh Như
XPS còn được gọi là ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis).
Kỹ thuật này được sử dụng rộng rãi vì nó rất đơn giản và dữ liệu được phân tích nhanh, dễ dàng.
XPS hoạt động bằng cách chiếu tia X lên các nguyên tử của bề mặt vật liệu rắn, các electron được phóng ra, gọi là các quang electron (photoelectron)
University of Texas at El Paso, Physics Department Front view of the Phi 560 XPS/AES/SIMS UHV System
Cấu tạo của thiết bị XPS
Cấu tạo của thiết bị XPS
Nguồn tia X
Bơm chân không
Bộ phận phân tích
Buồng chứa mẫu
Nguồn tia X
...
- tailieumienphi.vn
nguon tai.lieu . vn