Bài thuyết trình Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron

Bài thuyết trình Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron trình bày tổng quan màng ITO, phương pháp phún xạ magnetron; thực nghiệm các bước tạo màng, các phương pháp xác định tính chất của màng; kết quả khoảng cách bia đế, công suất phún xạ. Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron GVHD: TS. Lê Trấn HVTH: Nguyễn Thanh Tú Nội dung 1 Tổng quan 2 Thực nghiệm Màng ITO Phương pháp phún xạ magnetron Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất của mà

Thể loại Tài liệu miễn phí Khoa học tự nhiên

Số trang 29

Ngày tạo 8/30/2018 5:20:19 AM +00:00

Loại tệp PDF

Kích thước 3.56 M

Tên tệp

Tải Bài thuyết trình Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng ... (.pdf)

Xem mẫu

Nghiên cứu chế tạo màng ITO bằng phương pháp phún xạ Magnetron GVHD: TS. Lê Trấn HVTH: Nguyễn Thanh Tú Nội dung 1 Tổng quan 2 Thực nghiệm Màng ITO Phương pháp phún xạ magnetron Các bước tạo màng Các phương pháp xác định tính chất của màng 3 Kết quả Khoảng cách bia đế Công suất phún xạ Nhiệt độ đế Độ dày màng Khí oxi Xử lý nhiệt sau khi phủ Page  2 Page  3 Màng ITO ITO: hỗn hợp của Indium oxide (In2O3 ) và Tin Oxide (SnO2), Cơ chế dẫn điện: các electron dẫn sinh ra do có sự pha tạp donor hoặc do sự thiếu oxi trong cấu trúc màng Có độ truyền qua cao ở vùng khả kiến và điện trở suất thấp Dùng làm điện cực trong suốt trong các loại màn hình, pin mặt trời màng mỏng, OLED… Page  4 Ưu điểm của phương pháp phún xạ Magnetron Nhiệt độ đế thấp, có thể xuống đến nhiệt độ phòng Độ bám dính tốt của màng trên đế Vận tốc phủ cao, có thể đạt 12 µm/phút Dễ dàng điều khiển Các hợp kim và hợp chất của các vật liệu với áp suất hơi rất khác nhau có thể dễ dàng phún xạ Phương pháp có chi phí không cao Có khả năng phủ màng trên diện tích rộng Page  5 ... - tailieumienphi.vn

nguon tai.lieu . vn

Thạc sĩ - Tiến sĩ - Cao học Công nghệ thông tin Kinh tế - Thương mại Tài chính - Ngân hàng Kiến trúc - Xây dựng Điện-Điện tử-Viễn thông Cơ khí - Chế tạo máy Công nghệ - Môi trường Báo cáo khoa học Quản trị kinh doanh Khoa học xã hội Khoa học tự nhiên Nông - Lâm - Ngư Y khoa - Dược