Xem mẫu
Quang phổ Laser
DÙNG PHỔ RAMAN VÀ PHỔ QUANG PHÁT QUANG
NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA TỈ LỆ KHÍ OXY VÀ SỰ Ủ NHIỆT ĐỐI VỚI MÀNG TIO2 CHẾ TẠO BẰNG PP PHÚN XẠ MAGNETON PHẢN ỨNG
Quang phổ Laser
MỤC ĐÍCH:
Nghiên cứu sự ảnh hưởng của tỉ lệ dòng oxy đưa vào trong hệ phún xạ trong việc chế tạo màng
Nghiên cứu sự ảnh hưởng của nhiệt độ ủ trong quá trình hình thành cấu trúc của màng
Quang phổ Laser
GiỚI THIỆU:
Chế tạo màng TiOx bằng phương pháp phún xạ magneton trực tiếp ở nhiệt độ phòng với tỉ lệ dòng oxy đưa vào khoảng 3-15%
FO2% FOF FAr100%
Sau đó đem ủ nhiệt ở 350-750oC
Dùng phổ nhiễu xạ tia X, quang phát quang và phổ Raman để nghiên cứu tính chất của màng
Quang phổ Laser
THÍ NGHIỆM:
Dùng đế p-Si(100), làm sạch bởi H2SO4 và H2O
Target Ti tinh khiết 99.99%, đường kính 2in và được áp vào nguồn DC 100W
Đế được áp điện thế -150V
Khoảng cách giữa đế và bia là 100mm
Áp suất nền 2.7*10-4 Pa, Áp suất làm việc 2.7*10-4 Pa
Thời gian phún xạ 40 phút
Độ dày của màng từ 50-200nm
Quang phổ Laser
ĐO TÍNH CHẤT MÀNG:
Cấu trúc màng, thông tin phase (anatase hay rutile) đo bởi quang phổ kế tia X sử dụng bức xạ Cu Kα (0.1542nm). Made in Japan
Các liên kết được đo bởi phổ Raman. Made in France
Phổ PL dùng laser He-Cd 325nm 50mW, cách tử và CCD
...
- tailieumienphi.vn
nguon tai.lieu . vn