Xem mẫu
CÁC PHƯƠNG PHÁPTHỰC NGHIỆM
PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ
NGƯỜI TRÌNH BÀY:
Lê Trấn
Phún xạ
Trong phún xạ, năng lượng được chuyển từ ion tới đến nguyên tử target,
phá vở liên kết giữa các nguyên tử, bứt những nguyên tử ra khỏi target
Tại sao sử dụng phương pháp phún xạ?
Phún xạ có độ đồng điều trên diện tích lớn
Dễ kiểm soát thành phần hợp chất
Bề mặt target được rửa trước khi lắng đọng màng, nhằm tẩy các tạp chất bẩn trên bề mặt
Hạn chế: quá trình lắng đọng ở chân không trung bình có thể làm tăng tạp hơn quá trình bốc bay.
Điều kiện cần cho phún xạ
Target:
Có độ nguyên chất cao là cần thiết
Kích thước phải lớn hơn kích thước của đế để màng có độ đồng đều cao
Nước làm nguội phía sau target
Điều khiển nguồn ion
Khí trơ được chuyển thành plasma để hoạt động như nguồn ion
Điều khiển nguồn ion plasma bằng cách cung cấp năng lượng cho chùm ion
Chúng ta cần gì?
Chúng ta cần
Môi trường của hạt ion hóa (Plasma) tạo ra plasma
gia tốc ion và điện tử
plasma là trạng thái thứ 4 của vật chất Chứa các ion di chuyển tự do
Cả hạt mang điện âm và dương
Các nguyên tử ở trạng thái kích thích, năng lượng của chúng ở trạng thái cao, bán bền
Hạt nhân (do các phân tử bị đứt liên kết) plasma có được khi năng lượng đủ cao
Sản sinh plasma
Hạt năng lượng cao sử dụng trong phún xạ được sản sinh bởi phóng điện
Aùp thế cao dc ngang qua khí loảng gây ra phóng điện
Cái gì là cơ chế chuyển khí cách điện thành môi trường dẫn điện?
Phóng điện
Bứt những nguyên tử bề mặt nhiều nhất trong khi giảm tối đa những ion cấy vào target
...
- tailieumienphi.vn
nguon tai.lieu . vn