Xem mẫu
CÁC PHƯƠNG PHÁPTHỰC NGHIỆM
PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY
NGƯỜI TRÌNH BÀY:
Lê Trấn
Phương pháp PVD
Lắng động hơi vật lý (PVD) là quá trình màng mỏng vật liệu hình thành trên đế theo những bước sau:
1. Vật liệu cần lắng đọng, được chuyển thành hơi bởi phương tiện vật lý
2. Hơi được chuyển ngang qua vùng áp suất thấp từ nguồn đến đế
3. Hơi ngưng tụ trên đế và hình thành nên màng.
Lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Chuyển
Pha khí Pha khí
Bốc bay
Pha ngöng tuï
(loûng vaø raén)
Ngưng tụ
Pha ngöng tuï
(raén)
PVD
PVD types are: Bốc bay
Nhiệt bốc bay
Bốc bay chùm điện tử Phún xạ
Phún xạ DC Phún xạ RF
Phún xạ phản ứng Phún xạ magnetron
MBE (bay hơi chùm phân tử)
...
- tailieumienphi.vn
nguon tai.lieu . vn