Xem mẫu

CÁC PHƯƠNG PHÁPTHỰC NGHIỆM PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY NGƯỜI TRÌNH BÀY: Lê Trấn Phương pháp PVD  Lắng động hơi vật lý (PVD) là quá trình màng mỏng vật liệu hình thành trên đế theo những bước sau: 1. Vật liệu cần lắng đọng, được chuyển thành hơi bởi phương tiện vật lý 2. Hơi được chuyển ngang qua vùng áp suất thấp từ nguồn đến đế 3. Hơi ngưng tụ trên đế và hình thành nên màng. Lắng đọng hơi vật lý (PVD) Chuyển Pha khí Pha khí Bốc bay Pha ngöng tuï (loûng vaø raén) Ngưng tụ Pha ngöng tuï (raén) PVD  PVD types are:  Bốc bay  Nhiệt bốc bay  Bốc bay chùm điện tử  Phún xạ  Phún xạ DC  Phún xạ RF  Phún xạ phản ứng  Phún xạ magnetron  MBE (bay hơi chùm phân tử) ... - tailieumienphi.vn
nguon tai.lieu . vn