Xem mẫu
Seminar: Màng mỏng nhạy khí – Gas Sensor thin film
GVHD: PGS-TS LÊ VĂN HIẾU HVCH: NGUYỄN HOÀNG HUYNH TRỊNH THANH THỦY VŨ THỊ PHƯƠNG HIẾU
Nội dung trình bày
1. 2. 3. 4. 5.
Giới thiệu Các loại sensor Đặc điểm tính chất của sensor Các phương pháp cải thiện tính chất sensor Phương pháp khảo cứu đặc tính của sensor
Phân tích cấu trúc Khảo sát tính chất nhạy khí
6.
Các ứng dụng
Phương pháp khảo cứu đặc tính của sensor
1.
Các phương pháp phân tích cấu trúc
Nhiễu xạ tia X Hiển vi điện tử quét (SEM) Hiển Vi lực nguyên tử (AFM)
2.
Các phương pháp khảo sát tính chất sensor
Phân tích bão hòa Phân tích giới hạn xác định giảm dần (LEL)
Các phương pháp phân tích cấu trúc
1. Nhiễu xạ tia X
Được dùng để: Cấu trúc của màng Kích thước trung bình của các hạt tinh thể Sự định hướng của tinh thể
Các phương pháp phân tích cấu trúc
nguon tai.lieu . vn
GVHD: PGS-TS LÊ VĂN HIẾU HVCH: NGUYỄN HOÀNG HUYNH TRỊNH THANH THỦY VŨ THỊ PHƯƠNG HIẾU
Nội dung trình bày
1. 2. 3. 4. 5.
Giới thiệu Các loại sensor Đặc điểm tính chất của sensor Các phương pháp cải thiện tính chất sensor Phương pháp khảo cứu đặc tính của sensor
Phân tích cấu trúc Khảo sát tính chất nhạy khí
6.
Các ứng dụng
Phương pháp khảo cứu đặc tính của sensor
1.
Các phương pháp phân tích cấu trúc
Nhiễu xạ tia X Hiển vi điện tử quét (SEM) Hiển Vi lực nguyên tử (AFM)
2.
Các phương pháp khảo sát tính chất sensor
Phân tích bão hòa Phân tích giới hạn xác định giảm dần (LEL)
Các phương pháp phân tích cấu trúc
1. Nhiễu xạ tia X
Được dùng để: Cấu trúc của màng Kích thước trung bình của các hạt tinh thể Sự định hướng của tinh thể
Các phương pháp phân tích cấu trúc